威科仪器（Veeco）日前宣布推出新的AS/P（磷化砷）MOCVD系统TurboDisc K475i。LED厂商可以采用TurboDisc K475i MOCVD系统生产红色、橙色和黄色（R/O/Y）LED。该系统还可以制造多结III-V族太阳能电池、激光二极管和晶体管。
“Veeco公司将通过MOCVD技术不断推动创新，采用可靠、灵活和易于操作的MOCVD设备来降低制造成本和提高产量。K475i设备能够快速生产具有高亮度和高产量的LED晶片，从而使我们能够满足红色，橙色和黄色LED及其他As/P基设备日益增长的市场需求。”扬州乾照光电有限公司总经理张双翔如是说。
K475i设备采用了公司的专利TurboDisc和Uniform FlowFlange MOCVD技术，能够生产出具有非常高的均匀性和可重复性的晶片薄膜和晶片基板。每个LED晶片可比其它替代系统减少20%的生产成本，目前业界最低。
“新的K475i系统将生产验证技术整合到业界领先的MOCVD系统。我们非常高兴能与乾照光电合作，生产出世界一流的LED晶片并能快速通过乾照的测试系统。K475i的市场前景非常广阔。”Veeco公司MOCVD运营高级副总裁兼总经理James T. Jenson表示。
Veeco公司表示，K475i MOCVD系统的专利技术提供快速的流程优化和快速的工具恢复时间，调试之后能够实现卓越的生产效率，用于照明、显示器、激光二极管、太阳能电池、异质结双极晶体管（HBTs）和假晶高电子迁移率晶体管（pHEMTs）等产品应用。（文/Silvia译）
