Corial公司开发了一种6英寸晶片电感耦合等离子体（ICP）图形化蓝宝石衬底（Patterned Sapphire Substrates, PSS）工艺，据说该工艺将通过Corial PS200全自动单模块平台应用于LED量产。
图形化蓝宝石衬底
图形化蓝宝石衬底（PPS）是LED产业提高LED亮度的机理。2009年，Corial公司成为首个为图形化蓝宝石衬底应用提供独立电感耦合等离子体系统的公司。此后，Corial公司通过不断技术创新来为LED生产提供具有成本效益的解决方案。
Corial PS200是一个基于生产验证等离子技术的完全自动化单模块平台，并将生产效率最高的蓝宝石衬底和具有卓越蚀刻性能的图形化蚀刻应用完美组合。
Corial PS200平台的主要优势为：高密度等离子体源提供最佳同类均匀性和工艺可重复性。
据悉，该平台还能够提供生产灵活性与延伸平台配置（多达三个工艺模块）。（文/Silvia译）