据了解,随着紫外LED和Mini/Micro LED等新兴产业如火如荼地发展,近两年来,国内外相关大企纷纷加购重要的MOCVD设备,很大程度推动了MOCVD设备的发展并刺激了市场需求。
4月16日晚间,MOCVD设备制造商中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)公布了亮眼的2019年成绩单。报告期内,该公司已开发出用于深紫外LED生长的高温MOCVD设备,并且正在开发用于Mini/Micro LED的新型MOCVD设备。
中微公司主要从事高端半导体设备的研发、生产和销售,主要为集成电路、LED芯片、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备。其中,MOCVD设备主要应用于蓝绿光及紫外LED外延片和功率器件的生产,目前已在行业领先客户的生产线上大规模投入量产。
报告期内,中微公司实现营收19.47亿元,同比增长18.77%;实现归属于上市公司股东的净利润1.89亿元,同比增长107.51%。
值得注意的是,中微公司去年完成开发适用于深紫外LED生长的高温MOCVD设备,可承载18片2寸外延片,主要应用于深紫外LED、紫外杀菌、工业水净化等领域。
中微公司指出,MOCVD设备采购金额一般占LED生产线总投入的一半以上,是LED外延片制造中最重要的设备。目前MOCVD设备主要用于氮化镓基及砷化镓基半导体材料外延生长,其中氮化镓基LED MOCVD主要用于生产氮化镓基LED的外延片。
除用于制造通用照明和背光显示的蓝光LED,MOCVD设备还可制造应用于高端显示的Mini LED和Micro LED、用于杀菌消毒和空气净化的紫外LED、应用于电力电子的功率器件,随着这些新兴领域的应用拓展及逐步推广,氮化镓基MOCVD设备的市场规模有望进一步扩大。
报告显示,中微公司的MOCVD设备已在全球氮化镓基LED设备市场中占据领先地位。其中,用于制造深紫外光LED的MOCVD设备已在行业领先客户端验证成功。同时,用于Mini LED生产的MOCVD设备的研发工作正在有序进行中,并计划推动相关验证。此外,制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD设备也在开发中。