近期，《自然·通讯》（Nature Communications）在线刊发“华中科技大学－华引芯（武汉）科技有限公司新型半导体显示光源联合研究中心”题目为“Boosting the electron beam transmittance of field emission cathode using a self－charging gate”研究成果。
电子束聚焦技术可以通过外加电场或磁场实现，具有高分辨率、精密控制、非接触加工和适用范围广的特点。这一技术被广泛应用于半导体行业的芯片制造、纳米加工领域的纳米结构制备、光刻领域的光罩制作以及光源领域中的显示成像。
如图所示，研究团队在器件表面沉积了一层驻极体材料氮化硅（SiNx），SiNx驻极体内部的Si3＋陷阱中心可以实现对电子的捕获和稳定存储。当电子发射到器件表面后，器件会捕获电子进行充电，充电后的器件表面带负电，从而可以实现对后续电子的稳定聚焦效果。不同于传统的电子束聚焦方案，这种新型的电子束聚焦方案不需要引入额外的静电场或磁场，为实现对电子束的精准控制提供了新的可能，在微纳制造领域具有重要应用前景。
基于SiNx驻极体的电子束聚焦原理和器件结构
该工作在华中科技大学光电学院与引力中心实验平台共同完成，得到了国家自然科学基金和华中科技大学－华引芯（武汉）科技有限公司新型半导体显示光源联合研究中心项目的资助。
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华引芯（武汉）科技有限公司是一家由海外团队创立，专注于高端光源芯片与光器件研发、封测且拥有多项核心专利技术的国家级专精特新“小巨人”企业，总部位于中国光谷，拥有独立技术研发中心，自成立以来，公司相继承担多个省级重点研发项目。
公司聚集大量高学历科研人才及多年行业龙头厂商工作经验的研发人员组成研发团队，其自主研发的汽车车规、特殊波段、Mini／Micro显示光源芯片及其封装器件、半导体光器件的光电性能均已达到世界一线水平，广泛应用于新型显示光源、车载光源、紫外光源、红外光源市场，产品已成功打入国内知名品牌前装车厂，并进入多家显示面板龙头厂商合格供应商列表。
